AXEL BERTHOLDS,アクセル、ベルトルズ,PERE LLOSAS,ペレ、リョサス,SIMON HENEIN,シモン、エネン
申请号：
JP2012159546
公开号：
JP2013160756A
申请日:
2012.07.18
申请国别(地区):
JP
年份:
2013
代理人:
摘要：
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical force sensing element manufactured at low cost and having sensitivity which is 5 to 20 times as high in the z-direction axis of a structure as in x-y directions perpendicular to the axis.SOLUTION: A monolithic structure contains three notches, and all of the notches are made punch-like from the same direction by forming two blades between them. The structure contains three optical fibers fixed inside channels parallel to the z-axis. The optical fibers enter a bottom surface and reaching to a top surface or its vicinity. The channels with the optical fibers cross only a first notch while bypassing the other two notches in the structure. Each of the optical fibers has a Fabry-Perot interferometric cavity within the first notch.【課題】低コストで製造され、構造体のｚ方向軸において当該軸に垂直なｘ－ｙ方向においてよりも５～２０倍高い感度を有する光学式力検出要素を開示すること。【解決手段】一体式の構造体が、３つのノッチを含み、それら全てのノッチは、間に２つのブレード部を形成することにより、同一の方向からパンチ様に作られる。当該構造体が、ｚ軸に平行なチャネルの内部に固定された３つの光ファイバを含み、当該光ファイバは、底面から入って頂面またはその近傍に達し、光ファイバを有するチャネルは当該構造体内において第１のノッチだけを横切って他の２つのノッチを迂回し、全ての光ファイバは当該第１のノッチ内にファブリペロー干渉空間を有する。【選択図】図４
