The present invention can obtain a sufficient sterilization effect , provides a residual gas sterilization methods and apparatus are not innocuous The . Blood ( ) a step of reducing the pressure within the pressure chamber for receiving sterile water , hydrogen peroxide supply step of supplying the hydrogen peroxide in the chamber , the ozone supply step of supplying the ozone into the chamber , a sterile blood by diffusion of hydrogen peroxide and ozone , and water supplied into the chamber a sterilization step of sterilizing , by generating a plasma in the exhaust process , and the chamber to exhaust the gas in the chamber , the decomposition of hydrogen peroxide and ozone remaining in the vicinity of the blood with sterile water to generate a radical, a plasma to promote the sterilization by the radical consists of a generation process.본 발명은 충분한 멸균효과를 얻을 수 있고, 잔류가스가 없는 무해한 멸균방법 및 장치를 제공한다. 피(被)멸균물을 수용하는 챔버 내를 감압하는 감압공정, 챔버 내에 과산화수소를 공급하는 과산화수소 공급공정, 챔버 내에 오존을 공급하는 오존공급공정, 챔버 내에 공급한 과산화수소와 오존을 확산시켜서 피멸균물을 멸균하는 멸균공정, 챔버 내의 가스를 배기하는 배기공정, 및 챔버 내에 플라즈마를 발생시켜서, 피멸균물 근방에 잔류한 과산화수소 및 오존을 분해하여 라디칼을 생성시켜, 이 라디칼에 의한 멸균을 촉진시키는 플라즈마 발생공정으로 이루어진다.
