An object of the present invention is to provide a plasma discharge source suitable for removing fine dust and sterilizing, obtaining a rich plasma at a low voltage, using ultraviolet rays generated during plasma discharge, and having a relatively low ozone concentration, The collection of fine dust is intended to provide an efficient plasma discharge source. According to the above object, the present invention forms X electrodes and Y electrodes on both sides of the dielectric substrate, covers the electrodes with a dielectric, and surrounds the space with the X electrodes with a transparent dielectric chamber, thereby lowering the space where the X electrodes are disposed. It consists of a chamber to discharge the plasma by applying a voltage to the electrode, causing a strong plasma discharge on the X electrode side where the low-pressure space is formed, and the ultraviolet rays generated by this pass through the transparent dielectric chamber to exert the sterilizing power, On the Y-electrode side, which is formed without, it generates a weak dark discharge plasma, thereby generating active species, and the electric field formed between the X and Y electrodes causes fine dust vibration to aggregate fine dust to grow fine dust particles to filter the aggregated dust particles. It provides a plasma source that can be removed.본 발명의 목적은 미세먼지 제거와 살균을 실시하는 데에 적합한 플라즈마 방전 소스를 제공하고자 하는 것으로, 저전압으로 풍부한 플라즈마를 얻고, 플라즈마 방전 시 발생되는 자외선을 이용할 수 있으며, 상대적으로 오존 농도가 낮고, 미세먼지의 수집이 효율적인 플라즈마 방전 소스를 제공하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라 본 발명은 유전체 기판의 양면에 각각 X 전극과 Y 전극을 형성하고, 상기 전극들을 각각 유전체로 덮고, X 전극이 있는 공간을 투명 유전체 챔버로 포위하여 X 전극이 배치된 공간을 저압의 챔버로 구성하여 전극에 전압을 인가하여 플라즈마를 방전시킴에 있어서, 저압 공간이 형성된 X 전극 쪽에서 강한 플라즈마 방전을 일으키며, 이로 인해 발생되는 자외선이 투명 유전체 챔버를 투과하여 살균력을 발휘하게 하고, 챔버없이 구성된 Y 전극 쪽에서는 약한 암방전 플라즈마를 일으키고 이로 인해 활성종을 생성하고, X전극과 Y 전극 사이에 형성된 전기장이 미세먼지 진동을 일으켜 미세먼지를 뭉쳐 미세먼지 입자를 생장시켜 뭉쳐진 먼지 입자를 필터로 제거할 수 있는 플라즈마 소스를 제공한다.
