Device for compensating the three-dimensional movement target volume between the ion beam irradiation of (1), the present invention relates to a method. Locating and tracking system for detecting the motion and (4), the device includes a (6) the depth modulator for adjusting the depth of penetration of the ion beam. For the purpose of compensation, motion is subdivided vectorially to the component and the vertical component of the horizontal direction. To the irradiation point of the other from the irradiation point of the one component in the lateral direction is compensated by the auxiliary raster scanning device (3), whereas to the irradiation point of the other from the irradiation point of the one component in the vertical direction, the modulator depth (6), by detecting a change in position of the target volume before irradiation is performed, motion measurement as a reference table which includes storing in memory the read modules and control (SAMB), and the irradiation process, it By detecting a change in the structure of the healthy tissue in addition to adjusting the value of the truth during covers the target volume, to model, is compensated.本発明は、イオンビーム照射の間のターゲット容積(1)の三次元運動を補償するためのデバイス、方法に関する。このデバイスは、運動を検出するための標定および追跡システム(4)並びに、イオンビームの浸透の深さを調整するための深さモジュレータ(6)を含む。運動は、補償の目的のために、横方向の成分と縦方向の成分とにベクトル的に再分割される。横方向の成分は、1つの照射点から他の照射点まで、ラスタースキャンデバイス(3)の補助により補償され、一方縦方向の成分は、1つの照射点から他の照射点まで、深さモジュレータ(6)により、照射を行う前のターゲット容積の位置の変化を検出すること、これを参照テーブルとして運動測定、制御および読出しモジュール(SAMB)のメモリ中に記憶すること、並びにこれを、照射プロセスの間に真実の値に調整することに加えて、ターゲット容積を覆っている健康な組織の構造の変化を検出し、モデル化することにより、補償される。