PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ion emitting device capable of reducing the capacity of a high-frequency power source while preventing electrical discharge inside a cylindrical part.SOLUTION: An ion emitting device according to an embodiment comprises: an ion source 1 for generating ions； and a front-stage linear accelerator 3 and a back-stage linear accelerator 4 for sequentially accelerating ion beams 22 derived from the ion source 1. The front-stage linear accelerator 3 and the back-stage linear accelerator 4 each have: a cylindrical part； and an electrode part arranged inside the cylindrical part. The cylindrical part of at least one of the front-stage linear accelerator 3 and the back-stage linear accelerator 4 is made of copper.SELECTED DRAWING: Figure 2COPYRIGHT: (C)2018,JPO&INPIT【課題】筒状部内における放電の発生を防止するとともに、高周波電源の容量を低減可能なイオン入射装置を提供する。【解決手段】実施形態のイオン入射装置は、イオンを生成するイオン源１と、イオン源１から引き出されたイオンビーム２２を順に加速する前段線形加速器３及び後段線形加速器４と、を備える。前段線形加速器３及び後段線形加速器４は、それぞれ筒状部と、この筒状部内に設置された電極部と、を有する。前段線形加速器３及び後段線形加速器４の少なくとも一方の筒状部が銅製品である。【選択図】図２
