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Micro valve with elastically deformable valve lip, manufacturing process and micropump
专利权人:
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
发明人:
Thomas Lemke,Jens Klöker,Frank, Dr. Goldschmidtböing,Peter, Prof. Dr. Woias
申请号:
DE102010032799
公开号:
DE102010032799B4
申请日:
2010.07.30
申请国别(地区):
DE
年份:
2013
代理人:
摘要:
Verfahren zum Herstellen eines Mikroventils mit den folgenden Schritten:Ausbilden eines ersten (112) und eines zweiten (114) Substrates;Ausbilden mindestens einer ersten und einer zweiten Durchlassöffnung (102, 104) in dem zweiten und/oder ersten Substrat (112, 114);Aufbringen und Strukturieren einer elastisch verformbaren Silikondichtstruktur (110, 111) durch Aufschleudern und fotolithographisches Strukturieren einer Silikonschicht auf dem ersten Substrat und/oder auf dem zweiten Substrat (112, 114) zum Ausbilden mindestens einer Ventillippe (110), wobei die Ventillippe so ausgebildet ist, dass sie die Durchlassöffnung (102, 104) umlaufend dichtend umschließt,Zusammenfügen des ersten und zweiten Substrats (112, 114), so dass die mindestens eine Ventillippe (110) die mindestens erste und/oder zweite Durchlassöffnung (102, 104) in einer geschlossenen Position abdichtet.A method of manufacturing a microvalve comprising the steps of: forming a first (112) and a second (114) substrate; Forming at least a first and a second passage opening (102, 104) in the second and / or first substrate (112, 114); Applying and structuring an elastically deformable silicone sealing structure (110, 111) by spin-coating and photolithographically patterning a silicon layer on the first substrate and / or on the second substrate (112, 114) to form at least one valve lip (110), the valve lip being formed in that it peripherally surrounds the passage opening (102, 104), joining the first and second substrates (112, 114) so that the at least one valve lip (110) forms the at least first and / or second passage openings (102, 104) in one sealed closed position.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/
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