PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an internal temperature measurement device that can accurately measure an internal temperature by a MEMS device having a thermo-pile.SOLUTION: The internal temperature measurement device includes: a MEMS device 20 with a leg part； and a heat transfer pad 14 under the leg part separated by a low thermal conductivity member 19, the leg part having thereon a hot junction group of each thermo-pile for measuring a first temperature and a second temperature used for determining an internal temperature.SELECTED DRAWING: Figure 1【課題】サーモパイルを備えたＭＥＭＳデバイスにより内部温度を精度良く測定する内部温度測定装置を提供する。【解決手段】内部温度測定装置は、ＭＥＭＳデバイス２０の、内部温度の算出に使用する第１温度、第２温度を測定するための各サーモパイルの温接点群がその上に配置されている脚部下に、低熱伝導性部材１９により分離された伝熱パッド１４が配置されている構成を有する。【選択図】図１
