The invention relates to a laser-supported material processing device, comprising a laser (14) for providing a pulsed laser beam (16), a measuring arrangement (30, 32, 34, 36, 38) in order to obtain measured values of a fundamental wave power of the laser beam and of a power of at least one higher harmonic generated from the laser beam by means of frequency multiplication, and an evaluating unit (22) connected to the measuring arrangement, which is designed to examine the quality of the laser beam (16) according to the measured fundamental wave power, the measured power of the higher harmonic, and a set radiation power of the laser (14). By calculating the quotient of the measured fundamental wave power and of the measured power of the higher harmonic, the present conversion efficiency of the frequency multiplication can be determined. Said present conversion efficiency of the frequency multiplication is a measure of the quality of the wave front and the pulse duration of the laser beam (16).본 발명은 레이저 지원 재료 처리 장치에 관한 것으로서, 펄스 레이저 빔(16)을 제공하기 위한 레이저(14), 레이저 빔의 기본파 에너지의 측정값 및 주파수 증폭에 의해 레이저 빔으로부터 발생되는 적어도 하나의 고차 조화파 에너지의 측정값을 얻기 위한 측정 장치(30, 32, 34, 36, 38), 측정 장치에 연결되며 측정된 기본파 에너지, 측정된 고차 조화파 에너지 및 레이저(14)의 설정된 방사 에너지에 따라 레이저 빔(16)의 품질을 검사하도록 설계된 평가 장치를 포함한다. 하는 것을 특징으로 하는 재료 가공 장치. 고차 조화파의 측정된 에너지와 측정된 기본파 에너지로부터 몫을 계산함으로써, 주파수 증폭의 현재의 변환 효율이 결정될 수 있다. 주파수 증폭의 현재의 변환 효율은 파면의 품질 및 레이저 빔(16)의 펄스 지속 시간의 척도이다.