流体微机电传感器/设备及其制造方法
- 专利权人:
- 埃斯梅斯公司
- 发明人:
- T·施米洛维奇,N·莫利纳兹
- 申请号：
- CN201780061678.2
- 公开号：
- CN109844481A
- 申请日:
- 2017.01.08
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 公开了流体传感器设备的结构和组件。在一些可能的实施例中,流体传感器包括整体式/单片式基体结构,或者由被配置成彼此附接的两个或多于两个单独的主体元件组装而成的基体结构,并且基体结构具有沿着基体结构通过的流体通道、在所述基体结构中形成并与通道流体连通的开口、以及密封元件,该密封元件包括在其上图案化的一个或更多个感测元件,并且可密封地附接在至少一个开口上方,使得其一个或更多个感测元件位于至少一个开口上方。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
