ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE
发明人:
BAEK, NAM SEOB,백남섭,KIM, YONG HEE,김용희,LEE, BONG JOON,이봉준,JUNG, SANG DON,정상돈
申请号：
KR1020110052840
公开号：
KR1020120133918A
申请日:
2011.06.01
申请国别(地区):
KR
年份:
2012
代理人:
摘要：
PURPOSE: A fabrication method of an electrode support is provided to improve adhesion with a substrate and mechanical strength of an electrode support.CONSTITUTION: A fabrication method of an electrode support comprises: a step of forming a first insulating film(30) on a conductive substrate a step of forming an adhered film(51) on a first insulating film a step of forming a second insulating film on the adhered film a step of patterning the second insulating film and the adhered film a step of patterning the second insulating film and adhered film a step of forming a tube-type electrode support(71) on the first insulating film and a step of heat-treating a substrate which comprises an electrode support.COPYRIGHT KIPO 2013전극지지체 제조방법이 제공된다. 상기 방법은 도전성 기판 상에 제1 절연막을 형성하고, 상기 제1 절연막 상에 접착막을 형성하고, 상기 접착막 상에 제2 절연막을 형성하고, 상기 제2 절연막 및 상기 접착막을 패터닝하여, 상기 제1 절연막 상에 튜브형태의 지지체를 형성하고, 그리고, 상기 전극지지체를 포함하는 기판을 열처리하는 것을 구비한다.
