scanning a plurality of the measurement beam and the inspected object, the plurality of the measurement beam from the return beam and the reference beam to interfere with a plurality of signals obtained by the interference beam, a single imaging device for acquiring a tomographic image or a sectional image of the inspected object, the plurality of the interference beam in order to measure the inspected object at a plurality of points but detecting the plurality of beams so as to obtain the interference signal, and the plurality of other pixels, so a sensor for detecting the interference beam, respectively Wherein for each of a plurality of the interference beam to obtain the different optical characteristics by the difference in the number of pixels of an optical system of the single imaging device, the acquisition means And by the correction process based on a difference between the optical properties and the composite processing based on the plurality of signals of the interference beam, and a generation means for generating a tomographic image or a sectional image of the inspected object.복수의 측정빔을 피검사물에 주사하고, 상기 복수의 측정빔의 귀환빔과 참조빔을 간섭시켜서 얻어진 복수의 간섭빔의 신호로부터, 상기 피검사물의 단층화상 혹은 단면화상을 취득하는 단층촬상장치로서, 복수점에서 상기 피검사물을 측정하기 위해 상기 복수의 간섭빔의 신호를 취득하도록 상기 복수의 간섭빔을 검출하되, 상기 복수의 간섭빔 각각을 검출하기 위한 화소수가 다른 센서 상기 복수의 간섭빔 각각에 대해 상기 단층촬상장치의 광학시스템의 상기 화소수의 차이에 의해 서로 다른 광학특성을 취득하는, 취득 수단 및 상기 복수의 간섭빔의 신호에 근거한 합성처리와 상기 광학특성의 차이에 근거한 보정처리에 의해, 상기 피검사물의 단층화상 혹은 단면화상을 생성하는 생성 수단을 구비한다.
