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活性種発生ユニットおよびこれを用いた活性種発生装置
专利权人:
パナソニックIPマネジメント株式会社
发明人:
稲垣 純,田中 史子,大友 みゆき,加藤 亮,中原 健吾,上田 哲也
申请号:
JP2011256234
公开号:
JP6043944B2
申请日:
2011.11.24
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要:
An active species emission unit comprises: a case unit having either a cylindrical or box shape, further comprising an aperture unit on one end thereof a discharge electrode, a leading end whereof is inserted via the aperture unit into the case unit and a semiconductor electric unit which is positioned vertically facing the discharge electrode in the vicinity of the leading end thereof. A power source connection unit which serves as a ground potential is positioned on the exterior periphery of the semiconductor electric unit. Voltage is applied from a power source unit to the power source connection unit and the discharge electrode and an active species emitted by a corona discharge.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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