the ultrasonic converter structure, the ultrasonic converter and manufacturing method of the ultrasonic converter is started. the structure of the ultrasonic converter to drive the drive containing the wafer with the wafer, and in the preparation and the form of the first wafer, and the wafer from the first, was assigned to the second wafer to wafer containing the ultrasonic converter etc..초음파 변환기 구조물, 초음파 변환기 및 초음파 변환기의 제조 방법이 개시된다. 개시된 초음파 변환기 구조물은 구동 회로를 포함하는 구동 웨이퍼와, 상기 구동 웨이퍼 상에 구비되고, 비아홀이 형성된 제1웨이퍼와, 상기 제1웨이퍼로부터 이격되게 배치된 제2 웨이퍼를 포함하는 초음파 변환기 웨이퍼를 포함한다.
