미우라 요시마사,타키구치 요시히로,시라오 마사유키,타카타 사다키,하타오 마사토,후쿠이 히로시
申请号：
KR1020097005336
公开号：
KR1014111020000B1
申请日:
2007.10.03
申请国别(地区):
KR
年份:
2014
代理人:
摘要：
The present invention is one or a measurement sample passing through the measurement sample 15 from a light beam including at least ultraviolet ( in the ultraviolet detecting device 10 for detecting the reflected UV from 15) , wherein the ultraviolet rays from the spectral means for spectral beam 19 and , by detecting the spectral UV spectroscopic means 19 , for detecting only the ultraviolet is in, Ga, N, Al, O, and optical detection means consisting of a front light consists of elements selected from Cs , etc. (20) UV detection device , characterized in that it has a (10).본 발명은 적어도 자외선을 포함하는 광선으로부터 측정시료(15)를 투과한 또는 측정시료(15)로부터 반사된 자외선을 검출하는 자외선 검출장치(10)에 있어서, 상기 광선으로부터 자외선을 분광하는 분광수단(19)과, 분광수단(19)에 의해 분광된 자외선을 검출하는, 자외선만을 검출하는 In, Ga, N, Al, O, 및 Cs 등으로부터 선택되는 원소로 구성된 광전면으로 이루어지는 광검출수단(20)을 갖는 것을 특징으로 하는 자외선 검출장치(10)이다.
