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具有真空防护性的变温微纳米压痕测试系统及方法
- 专利权人:
- 吉林大学
- 发明人:
- 赵宏伟,刘彦超,时月,黄虎,于丹阳,朱宝行
- 申请号：
- CN201510036754.7
- 公开号：
- CN104596873A
- 申请日:
- 2015.01.26
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 王怡敏
- 摘要：
- 本发明涉及一种具有真空防护性的变温微纳米压痕测试系统及方法，属于光机电一体化精密科学仪器领域。该系统包括真空室系统、Z轴方向宏动调整机构、Z轴大行程精密压入驱动单元、Z轴小行程精密压入驱动单元、压入位移信号检测单元、压入载荷力信号检测单元、温度加载及检测单元和X-Y精密定位平台。合理集成了高温加热模块与压痕加载模块，实现温度场条件下微纳米压痕测试；并提供真空环境，避免了在加热过程中试件表面被氧化对测试结果的影响；采用电机驱动与压电驱动两种驱动方式，既能保证小行程压痕试验时的加载精度，也满足了特殊材料的大加载行程压痕要求。在材料科学、航空航天和国防军工等领域具有广阔的发展前景和应用价值。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
