Problem to be solved: to easily measure measurement error in contactless shape measurement.The shape measuring apparatus according to the embodiment includes a first acquisition section and a generating section.The first acquisition section acquires the first scanning data concerning the outer shape of the correction plane obtained by optically scanning the correction plane from the oblique direction relative to the normal direction of the correction plane and the position information of the correction plane.The generating section generates a measurement error distribution showing a plurality of measurement errors concerning a plurality of measurement distances based on the first scanning data and the position information of the correction plane.Diagram【課題】非接触の形状測定における測定誤差を簡易に補正すること。【解決手段】実施形態に係る形状測定装置は、第１の取得部と、生成部とを含む。第１の取得部は、補正用平面の法線方向に対して斜め方向から前記補正用平面を光学的にスキャンすることにより得られた前記補正用平面の外形に関する第１のスキャンデータと、前記補正用平面の位置情報を取得する。生成部は、前記第１のスキャンデータと、前記補正用平面の位置情報とに基づいて、複数の測定距離に関する複数の測定誤差を示す測定誤差分布を生成する。【選択図】 図１
