A system for use in optical measurement of a sample is described. The system provides coherent illumination of one or more selected wavelength ranges, and an illumination unit configured to direct the sample to one or more selected inspection areas of the sample, from the inspection area A light collecting unit that collects the returning light and generates output data including a sequence of image data pieces representing a secondary speckle pattern formed on an intermediate plane in the light collecting light path； and an illumination unit light collecting unit A depth resolution module that affects at least one and determines the relationship between the collected secondary speckle pattern and the layer depth of the sample； connectable to the depth resolution module； depth resolution The module is operated to receive a sequence of image data fragments from the collection unit, and this image data fragment sequence Treated by determining the correlation function between at least part of the Peck Le pattern comprises a control unit for determining a change of the sample one or more parameters along the depth of the. [Selection] Figure 1サンプルの光学的測定に使用するシステムが記載されている。このシステムは、一又はそれ以上の選択された波長範囲のコヒーレント照明を提供し、これをサンプルの一又はそれ以上の選択された検査領域に向けるように構成された照明ユニットと、前記検査領域から戻ってくる光を集光し、集光光路中の中間平面に形成された二次スペックルパターンを表す画像データ片シーケンスを具える出力データを生成する集光ユニットと、照明ユニット集光ユニットの少なくとも一方に影響を与えて、回収した二次スペックルパターンとサンプルの層深度との関連を決定する、深さ解像モジュールと；この深さ解像モジュールに接続可能であり、深さ解像モジュールを操作して、集光ユニットからの画像データ片シーケンスを受信し、この画像データ片シーケンスを、サンプルの対応する層深度に関連する二次スペックルパターンの少なくとも部分間の相関関数を決定することによって処理し、サンプルの深さに沿った一またはそれ以上のパラメータの変化を決定する制御ユニットと、を具える。【選択図】図１
