構造化表面を有する研磨材料
- 专利权人:
- スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー
- 发明人:
- 南 秀樹,渡瀬 稔彦,中村 陽子,増田 祥一,服部 二郎,デイヴィッド， モーゼズ エム．
- 申请号：
- JP20160548074
- 公开号：
- JP2017503670(A)
- 申请日:
- 2015.01.21
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 異物の付着及び堆積を防止する能力が卓越している構造化表面を有する研磨材料を提供すること、並びにその製造方法。本開示の実施形態の研磨材料は、その上に複数の三次元的要素が配設された構造化表面を備える研磨層を有する研磨材料であり、フッ素処理及びケイ素処理からなる群から選択される表面処理が構造化表面の少なくとも一部分の上に実施され、フッ素処理は、プラズマ処理、化学蒸着、物理蒸着、及びフッ素ガス処理からなる群から選択される。【選択図】図１
- 来源网站：
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