PROBLEM TO BE SOLVED: To certainly suppress internal contamination caused by the proliferation of bacteria.SOLUTION: In this chamber unit, a first chamber unit includes a first communication wall and a first section wall, and a second chamber unit includes a second communication wall and a second section wall. When having communicated a first communication part and a second communication part, a communication part seal material seals between the first and second communication walls. When having communicated the first and second communication parts, a section part seal material seals between the first and second section walls. A decontamination means introduces a decontamination gas. The chamber unit has: a first state in which the first and second section walls are stuck through the section part seal material while there is a gap between the first communication wall and the second communication wall and a second state in which at least the first and second communication walls are stuck through the communication part seal material. The decontamination means decontaminates at least the first and second communication parts and the communication part seal material in the first state.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】菌の増殖に起因する内部の汚染を確実に抑制する。【解決手段】第1チャンバーユニットは第1連通壁及び第1区画壁を備え、第2チャンバーユニットは第2連通壁及び第2区画壁を備える。連通部シール材は、第1連通部と第2連通部を連通させたとき第1、第2連通壁の間をシールする。区画部シール材は、第1、第2連通部を連通させたとき第1、第2区画壁の間をシールする。除染手段は除染ガスを導入する。第1、第2区画壁を区画部シール材を介して密着させる一方、第1連通壁と第2連通壁とは隙間のある第1の状態と、少なくとも第1、第2連通壁を連通部シール材を介して密着させる第2の状態とを有し、除染手段は、第1の状態において、少なくとも第1、第2連通部及び連通部シール材を除染する。【選択図】図2
