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SYSTÈME DE BALAYAGE DE FAISCEAU LASER PULSÉ
专利权人:
AMO Development; LLC
发明人:
申请号:
EP14713980.2
公开号:
EP2967750A1
申请日:
2014.03.04
申请国别(地区):
EP
年份:
2016
代理人:
摘要:
A system for photoaltering a region of a material, the region having a first and second portions and a periphery, the system comprising a laser configured to produce a pulsed laser beam, a controller configured to select at least a first pattern and a second pattern, the first pattern having a first maximum acceleration associated with the second portion, the second pattern having a second maximum acceleration associated with the second portion, the second maximum acceleration being less than the first maximum acceleration and a scanner operable in response to the controller to scan the pulsed laser beam in the first portion of the region with the first pattern and scan the pulsed laser beam in the second portion of the region with the second pattern, wherein the second pattern comprises scanning the pulsed laser beam in a raster pattern.La présente invention porte sur des systèmes et des procédés destinés à la photo-altération d'une région d'une matière utilisant un faisceau laser pulsé. Le procédé comprend le balayage du faisceau laser pulsé dans une première partie de la région avec un premier motif, le balayage du faisceau laser pulsé dans une seconde partie de la région avec un second motif et la séparation d'un lambeau de la matière au niveau de la région. Le système comprend un laser, un dispositif de commande sélectionnant au moins de premier et second motifs, et un scanner apte à être mis en œuvre en réponse au dispositif de commande. Le premier motif a une première accélération maximale associée à la seconde partie et le second motif a une seconde accélération maximale associée à la seconde partie. La seconde accélération maximale est inférieure à la première accélération maximale. Le scanner balaye le faisceau laser pulsé du laser dans la première partie avec le premier motif et dans la seconde partie avec le second motif.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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