リソグラフィー用途用の小分子由来の金属酸化物フィルム

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专利权人:

ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー．

发明人:

サリヴァン ダニエル エム．,ニーフ チャールズ ジェイ．,ワン ユバオ,ウワタラ タンティボロ

申请号：

JP20140518927

公开号：

JP6109164(B2)

申请日:

2012.06.26

申请国别(地区):

日本

年份:

2017

代理人:

摘要：

Metal-oxide films for lithographic applications are provided. The films are formed from compositions comprising metal-oxide precursor compounds including metals and metalloids other than silicon. These films are easily produced and can be modified with a variety of ligands, including alkoxides, phenoxides, carboxylates, beta-diketones, and beta-ketoesters.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/