石墨烯晶体管及其制备方法、使用方法和自驱动电子皮肤
- 专利权人:
- 北京纳米能源与系统研究所
- 发明人:
- 孙其君,孟艳芳,张弛,赵俊青
- 申请号:
- CN201710683047.6
- 公开号:
- CN109390403A
- 申请日:
- 2017.10.08
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要:
- 一种石墨烯晶体管及其制备方法、使用方法和自驱动电子皮肤,其中,石墨烯晶体管包括基底层、电极层、石墨烯层及离子凝胶介电层,其中:电极层包括形成于基底层同一表面上独立分布的源极和漏极;石墨烯层位于源极和漏极的上表面,且石墨烯层与源极和漏极接触;离子凝胶介电层位于石墨烯层上表面。本公开采用石墨烯作为晶体管,实现了栅极‑源漏极‑沟道共面的结构,在离子凝胶介质层上直接摩擦提供栅极电压,可以作为自驱动电子皮肤,具有结构紧凑、操作电压低、调控精度高且灵敏性高的特点。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心