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固定砥粒ワイヤーソー用水溶性切断液及びそれを用いたインゴットの切断方法
- 专利权人:
- パレス化学株式会社
- 发明人:
- 鈴木 清史,▲高▼梨 慎也
- 申请号：
- JP20150510027
- 公开号：
- JPWO2014162945(A1)
- 申请日:
- 2014.03.26
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 泡立ちが少なく、切断性能が高い固定砥粒ワイヤーソー用水溶性切断液、それを用いたインゴットの切断方法及びそれによって得られた電子材料用基板を提供する。化学式（１）で示される（ａ）２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオールのアルキレン付加物を含有することを特徴とする固定砥粒ワイヤーソー用水溶性切断液である。また、前記固定砥粒ワイヤーソー用水溶性切断液を用いて、固定砥粒ワイヤーソーによりインゴットを切断して電子材料基板であるウェハーを得ることを特徴とするインゴットの切断方法及びこの切断方法によって得られた電子材料用基板である。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
