校正检查对象的像差的自适应光学设备和图像摄取设备
- 专利权人:
- 佳能株式会社
- 发明人:
- 齐藤贤一
- 申请号：
- CN201010515573.X
- 公开号：
- CN102038487B
- 申请日:
- 2010.10.22
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2013
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明涉及校正检查对象的像差的自适应光学设备和图像摄取设备以及自适应光学方法。自适应光学设备包含：第一光调制单元，被配置为在从光源发射的光中的两个偏振光分量之一的偏振方向上进行调制；改变单元，被配置为将由第一光调制单元调制过的光旋转90度；第二光调制单元，被配置为在所述偏振方向上调制由改变单元改变过的光；以及照射单元，被配置为用第二光调制单元调制过的光照射测量对象。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
