Micropores penetrating a vibration plate 12 in a thickness direction thereof are formed, in which the vibration plate 12 atomizes a solution by vibration of a piezoelectric vibrator 11 that generates ultrasonic vibration when current is applied thereto. In addition, the spraying time and the spraying interval time are controlled by turning on or off the current applied to the piezoelectric vibrator 11, such that a value of [50% particle diameter of spray particles in cumulative volume distribution] x ([spraying time] / [spraying interval time]) becomes 0.2 to 2.5 μm.Une plaque vibrante 12 est percée, dans le sens de lépaisseur, de micropores, ladite plaque vibrante 12 atomisant une solution sous leffet de la vibration dun vibrateur piézoélectrique 11 qui génère une vibration ultrasonore lorsquil est alimenté en courant. En outre, la durée de pulvérisation et la durée sécoulant entre deux pulvérisations sont régulées sous leffet de la mise en marche ou à larrêt de lalimentation en courant du vibrateur piézoélectrique 11, de façon à ce que la valeur correspondant à [50 % du diamètre des particules ou des particules de pulvérisation dans la distribution cumulée en volume] x ([durée de pulvérisation]/[durée sécoulant entre deux pulvérisations]) varie de 0,2 à 2,5 µm.
