An intracavitary ultrasound imaging device having a substrate separated into a plurality of isolated segments, an intracavitary ultrasound imaging device having a groove, and a method for manufacturing.
The intracavitary ultrasound imaging device includes a flexible elongated member configured to be placed within the patient's body lumen. The flexible elongated member has a proximal portion and a distal portion. The device also includes an ultrasound imaging assembly located in the distal portion of the flexible elongated member. The ultrasound imaging assembly is configured to acquire imaging data of the body lumen. The ultrasound imaging assembly includes a transducer array that includes a substrate, a silicon oxide layer disposed on the substrate, and a plurality of rows of micromachine ultrasound transducer elements disposed on the silicon oxide layer. Two of the plurality of rows of micromachine ultrasonic transducer elements are separated by a groove formed by etching through a screen formed in the silicon oxide layer. Associated devices, systems and methods are also provided.腔内超音波撮像装置は、患者の身体内腔内に配置されるように構成される可撓性細長部材を含む。前記可撓性細長部材は、近位部分及び遠位部分を有する。前記装置は、前記可撓性細長部材の前記遠位部分に配置される超音波撮像アセンブリをも含む。前記超音波撮像アセンブリは、前記身体内腔の撮像データを取得するように構成される。前記超音波撮像アセンブリは、基板、前記基板の上に配置された酸化ケイ素層、及び前記酸化ケイ素層の上に配置された複数の行のマイクロマシン超音波トランスデューサ素子を含むトランスデューサアレイを含む。前記複数の行のマイクロマシン超音波トランスデューサ素子の２つが、前記酸化ケイ素層に形成されたスクリーンを通してエッチングすることにより形成された溝により離間される。関連付けられた装置、システム及び方法も、提供される。
