PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high frequency vibration piezoelectric device which can be manufactured easily and which can accurately detect ultrasonic waves having a frequency of about 25-50 MHz, a ultrasonic sensor, and a manufacturing method for the high frequency vibration piezoelectric device.SOLUTION: A high frequency vibration piezoelectric device 105 of an array type which allows for detection of vibration of ultrasonic waves and echo waves from observation objects has a vibrator array formed by a plate-shaped piezoelectric body structure integrally formed as a lattice window. Thus the high frequency vibration piezoelectric device 105 can keep the parallelism of the vibrator array, heighten the flatness of the vibrator array, and make a piezoelectric body 107 thin, because the vibrator array is integrally formed as the lattice window. As a result, the ultrasonic waves having a frequency of about 25-50 MHz can be accurately detected. Also, the trouble to arrange a vibrator 110 can be spared, so the piezoelectric device 105 can be easily manufactured in terms of the process.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】作製が容易であり、周波数25~50MHz程度の超音波を精度よく検出できる高周波振動圧電素子、超音波センサおよび高周波振動圧電素子の製造方法を提供する。【解決手段】超音波の発振および観察対象からの反響波の検出を可能にするアレイ型の高周波振動圧電素子105であって、連子窓状に一体形成されたプレート状の圧電体構造により振動子アレイが形成されている。このように高周波振動圧電素子105は、振動子アレイが連子窓状に一体形成されているため、振動子アレイの平行度を保ち、平面度を高くし、かつ圧電体107を薄くすることが可能になる。その結果、周波数25~50MHz程度の超音波を精度よく検出できる。また、振動子110を並べる手間が省け、圧電素子105を工程上、容易に作製することができる。【選択図】図1
