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一种人体呼吸自驱动的柔性呼吸传感器及其制备方法
- 专利权人:
- 电子科技大学
- 发明人:
- 太惠玲,刘勃豪,王斯,袁震,黄琦,蒋亚东,谢光忠
- 申请号：
- CN201811000346.6
- 公开号：
- CN109164140A
- 申请日:
- 2018.30.08
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种人体呼吸自驱动的柔性呼吸传感器,属于微电子机械技术领域,包括测试腔和数字静电计,测试腔的上下内侧壁上分别设置有上下对称的上检测组件和下检测组件;上检测组件包括从上到下依次粘接的基板、电极以及第一薄膜,基板与测试腔的上内侧壁粘接;测试腔内设置有橡胶气囊,橡胶气囊上粘接有摩擦薄膜,橡胶气囊的左端连通有进气筒,橡胶气囊的右端连通有出气筒;橡胶气囊对称轴与上检测组件和下检测组件上下对称的对称轴重合;上检测组件和下检测组件均与数字静电计电连接,数字静电计接地,不需要外部提供供电系统且直接利用呼吸气的动能来驱动橡胶气囊的膨胀,实现自发的检测呼吸频次、呼吸气量以及目标气体的浓度。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
