An active species generating unit comprises a plate-shaped insulating substrate, a discharge electrode that is disposed so as to be separated from the insulating substrate by a prescribed distance, an adsorption unit that covers the surface of the insulating substrate and adsorbs moisture near the insulating substrate, a counter electrode provided in contact with the adsorption unit, and a power supply that applies voltage to a discharge electrode and the counter electrode.Linvention concerne une unité de génération despèce active comprenant un substrat isolant en forme de plaque, une électrode de décharge qui est disposée de façon à être séparée du substrat isolant par une distance prescrite, une unité dadsorption qui recouvre la surface du substrat isolant et adsorbe lhumidité près du substrat disolation, une contre-électrode disposée en contact avec lunité dadsorption et une alimentation en courant qui applique une tension à une électrode de décharge et à la contre-électrode.活性種発生ユニットは平板形状の絶縁性基板と、絶縁性基板から所定距離を隔てて配置された放電電極と、絶縁性基板の表面を覆うとともに絶縁性基板の近傍の水分を吸着する吸着部と、吸着部に接して設けられた対向電極と、放電電極と対向電極とに電圧を印加する電源とを備えている。
