PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flow controller which can stably control a flow rate of a fluid flowing in a flow passage though having a plastically deformable diaphragm part.SOLUTION: The flow controller has a plurality of flow control units. Each of the flow control units includes: a flow control unit body； a flow passage disposed in the flow control unit body； a valve seat placement part which is disposed in the flow passage and is a recess opened to at least a first side of the flow control unit body or a through hole； a valve seat disposed in the valve seat placement part； and a resin diaphragm part which is disposed to cover an opening of the valve seat placement part and is brought into close contact with the valve seat by plastically deforming due to an external pressure to close the flow passage. The plurality of flow control units are connected so that their flow passages are connected in parallel with each other.SELECTED DRAWING: Figure 3【課題】塑性変形するダイヤフラム部を有しながらも、流路を流れる流体の流量を安定して制御できる流量制御装置を提供すること。【解決手段】流量制御装置は、複数の流量制御部を有する。複数の流量制御部のそれぞれは、流量制御部本体と、流量制御部本体の内部に配置された流路と、流路に配置され、流量制御部本体の少なくとも第１面に開口した凹部または貫通孔である、弁座配置部と、弁座配置部の内側に配置された弁座と、弁座配置部の開口部を覆うように配置され、外圧によって塑性変形することで前記弁座に密着して前記流路を閉塞するように構成された、樹脂製のダイヤフラム部とを含む。複数の流量制御部は、それぞれの流路が互いに並列接続となるように接続されている。【選択図】図３
