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METHOD AND APPARATUS FOR CALCULATING A LASER SHOT FILE FOR USE IN AN EXCIMER LASER
专利权人:
发明人:
헤겔스, 에른스트
申请号:
KR1020097004207
公开号:
KR1014018230000B1
申请日:
2007.07.27
申请国别(地区):
KR
年份:
2014
代理人:
摘要:
The invention relates to a method and apparatus for calculating a laser shot file for use in an excimer laser comprising the steps of providing information with respect to a desired ablation profile, calculating the shot density of the desired ablation profile, using a cost function for placing laser shots of the excimer laser on grid positions wherein a threshold value is determined based on the calculated shot density of the desired ablation profile.본 발명은 엑시머 레이저에서 사용하기 위한 레이저 샷 파일을 계산하는 방법 및 장치로서, 원하는 절제 프로파일에 관한 정보를 제공하는 단계; 상기 원하는 절제 프로파일의 샷 밀도를 계산하는 단계; 그리드 위치들 상에 상기 엑시머 레이저의 레이저 샷들을 제공하기 위해 비용 함수를 이용하는 단계를 포함하고, 상기 원하는 절제 프로파일의 계산된 샷 밀도에 기초하여 임계치가 결정되는 방법 및 장치에 관한 것이다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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