一种含氟有机气体纯化的方法

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专利权人:

浙江博瑞电子科技有限公司

发明人:

陈刚,张晓东,叶向荣,周井森,张广第,李军,王宁,陈立峰,花永紧,郑九丽,钱红东

申请号：

CN201610568872.7

公开号：

CN106215852A

申请日:

2016.07.19

申请国别(地区):

中国

年份:

2016

代理人:

摘要：

本发明涉及一种含氟有机气体纯化的方法，首先制备了高效吸附剂。先经过分子筛吸附除去水分，再进入多级串联的装有本高效吸附剂的吸附塔，温度‑100～‑20℃，压力0.3～3MPa，流速3‑10BV/h，吸附后的含氟有机气体再经过业内公知的脱杂质精制技术，得到高纯的含氟有机气体产品。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/