BELLEVILLE, CLAUDE,LALANCETTE, SEBASTIEN,LESSARD, NICOLAS
申请号：
CACA2012/000211
公开号：
WO2012/119237A1
申请日:
2012.03.09
申请国别(地区):
WO
年份:
2012
代理人:
摘要：
There is described a miniature fiber optic pressure sensor design where sensitivity around specific biased pressure is optimized. In an embodiment, the pressure sensor is a Fabry-Perot (FP) sensor which comprises a substrate and a diaphragm mounted on the substrate. The diaphragm has a center and comprises: a first layer comprising a first material and a second layer comprising a second material. The second layer forms a dot or a ring. The dot or ring is mounted on the first layer and is centered about the center of the diaphragm. The second material comprises internal pre-stresses to cause the center of the diaphragm (in the case of a dot) or the peripheral area about the center of the diaphragm (in the case of a ring) to camber away from the substrate upon relaxing the internal pre-stresses.Linvention concerne une conception miniature de capteur de pression à fibre optique dans laquelle la sensibilité autour dune pression spécifique est optimisée. Dans un mode de réalisation, la capteur de pression est un capteur Fabry-Perot (FP) qui comprend un substrat et un diaphragme monté sur le substrat. Le diaphragme comprend un centre et possède : une première couche présentant un premier matériau et une deuxième couche présentant un deuxième matériau. La deuxième couche forme un point ou un anneau. Le point ou lanneau est monté sur la première couche et est centré autour du centre du diaphragme. Le deuxième matériau est soumis à des précontraintes internes pour amener le centre du diaphragme (dans le cas dun point) ou la zone périphérique autour du centre du diaphragme (dans de le cas dun anneau) à se courber à lopposé du substrat après relâchement des précontraintes internes.
