PROBLEM TO BE SOLVED: To operate a detector in a low-temperature environment while reducing dew condensation.SOLUTION: An X-ray source 15 generates X-rays. An X-ray detector 171 detects the X-rays from the X-ray source 15. A case 51 houses the X-ray detector 171. Fans 73 are provided in the case 51 and send air sucked from an opening 61 of the case 51 toward another opening 61 of the case 51. A cooler 65 is provided between the two openings 61 and cools the air in the case 51. Hygroscopic bodies 69 are provided in the case 51 and absorb moisture contained in the air sucked from the opening 61.COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】結露を軽減しつつ低温環境下で検出器を動作。【解決手段】X線源15は、X線を発生する。X線検出器171は、X線源15からのX線を検出する。筐体51は、X線検出器171を収容する。ファン73は、筐体51に設けられ、筐体51の開口61から吸入された空気を筐体51の他の開口61に向けて送風する。冷却器65は、二つの開口61の間に設けられ、筐体51内の空気を冷却する。吸湿体69は、筐体51に設けられ、開口61から吸入された空気に含まれる水分を吸収する。【選択図】 図3
