PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a conical microneedle which has a desired length and a sharp distal end.SOLUTION: The method of manufacturing the microneedle comprises: a step of forming a plurality of first linear grooves, in parallel to one another along a first direction on a substrate, using grinding a step of forming a plurality of second linear grooves, in parallel to one another along a second direction intersecting the first direction on the substrate, using grinding, and an island structure having a plane thereon and a step of applying isotropic etching to the island structure having the plane thereon.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】所望の長さを有し、先端が先鋭である、錐形状のマイクロニードルの製造方法を提供する。【解決手段】研削加工を用いて基板に第1の方向に沿って互いに平行な複数の第1の線状溝を形成する工程と、研削加工を用いて基板に第1の方向と交差する第2の方向に沿って互いに平行な複数の第2の線状溝を形成し、上部に平面を有する島状構造体を形成する工程と、該上部に平面を有する島状構造体に等方性エッチングを施す工程とを備えることを特徴とするマイクロニードルの製造方法。【選択図】図18
