The present invention makes it possible to ascertain conditions of gas supply to a chamber and perform processing according to said conditions even when power supply to the device to which the gas is supplied is re-started after being shut off. A device to which gas is supplied comprises a preserving means 12 capable of selectively assuming three states A-C that represent the conditions of gas supply to a chamber 10a and capable, when power supply to said device to which gas is supplied is shut off, of preserving the state at the time the power supply is shut off. When power supply to the device to which gas is supplied is re-started after being shut off, a determination is made as to which of states A-C the preserving means 12 is in and processing according to the conditions of gas supply to chamber 10a is performed.La présente invention permet de vérifier des conditions d'alimentation en gaz vers une chambre et de réaliser un traitement selon lesdites conditions, même lorsque l'alimentation électrique du dispositif auquel le gaz est fourni est redémarrée après une coupure. Un dispositif auquel le gaz est fourni comprend un moyen de conservation (12) capable d'adopter sélectivement trois états A-C qui représentent les conditions d'alimentation en gaz vers une chambre (10a) et apte, lorsque l'alimentation électrique dudit dispositif auquel le gaz est fourni est coupée, à conserver l'état au moment où l'alimentation électrique est coupée. Lorsque l'alimentation électrique du dispositif auquel le gaz est fourni est redémarrée après une coupure, on réalise une détermination selon laquelle le moyen de conservation (12) est dans des états A-C et un traitement selon les conditions d'alimentation en gaz vers la chambre (10a) est réalisé.ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された後に再開された場合にも、チャンバーへのガスの供給状況を把握し、その状況に応じた処理を行えるようにする。 ガス供給対象装置は、チャンバー１０ａへのガスの供給状況を示す３つの状態Ａ～Ｃを選択的に取り得ると共に、当該ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された場合に、電力の供給が遮断された時点における状態を保持することが可能な保持手段１２を有する。ガス供給対象装置への電力の供給が遮断された後に再開された場合に、保持手段１２が状態Ａ～Ｃのいずれ
