Un aparato (10) para vaporizar una sustancia dieléctrica vaporizable desde un material, la sustancia dieléctrica vaporizable estando sometida a vaporización tras la exposición a energía de microondas, el aparato (10) comprendiendo: una cámara de procesamiento (24); uno o más generadores de microondas (26) para generar microondas con energía de microondas; y, una o más guías de onda (42) adaptadas para confinar la energía de microondas a tales una o más guías de onda (42) y área circundante, y para dirigir en campo cercano la energía de microondas generada al material; caracterizado por que: las una o más guías de onda (42) son guías de onda dieléctricas sin gas (42) adaptadas para dirigir la energía de microondas generada al material por acoplamiento evanescente de la energía de microondas al material.
