超声波设备、超声波装置以及厚度设计方法
- 专利权人:
- 精工爱普生株式会社
- 发明人:
- 中村友亮
- 申请号:
- CN201711165390.8
- 公开号:
- CN108120769A
- 申请日:
- 2017.11.21
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要:
- 本公开涉及超声波设备、超声波装置以及厚度设计方法。本申请公开了一种超声波设备,其特征在于,具备:基板,包含第一面及作为所述第一面的背面的第二面,具备从所述第一面延伸至所述第二面而开口的开口部;支持部,在所述第一面侧阻塞所述开口部;振子,设置于所述支持部;金属膜,设置于所述基板的所述第二面上的未通过所述开口部而开口的未开口区域。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心