减压处理室内的部件清洁方法和基板处理装置
- 专利权人:
- 东京毅力科创株式会社
- 发明人:
- 守屋刚,长池宏史,中山博之
- 申请号：
- CN200610151435.1
- 公开号：
- CN1931453A
- 申请日:
- 2004.08.25
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2007
- 代理人:
- 龙淳
- 摘要：
- 为了使附着在减压处理室内的部件上的微颗粒飞散，清洁部件，采用将电压加在部件上，利用麦克斯韦应力使微颗粒飞散的方法；使微颗粒带电，利用库仑力飞散的方法，将气体导入减压处理室中，使气体冲击波到达附着有微颗粒的部件，使微颗粒飞散的方法；使部件温度上升，利用热应力和热泳动力，使微颗粒飞散的方法；或将机械振动给与部件，使微颗粒飞散的方法。另外，使飞散的微颗粒在较高压的气氛下被气体流夹带除去。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
