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多層膜反射鏡、多層膜反射鏡の製造方法、投影光学系、露光装置、デバイスの製造方法
专利权人:
株式会社ニコン
发明人:
神高 典明,村上 勝彦
申请号:
JP20150525058
公开号:
JP6112201(B2)
申请日:
2014.07.03
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
In order to provide a high-functional multilayer film reflector with a simple configuration, an example of a multilayer film reflector of the present invention is a multilayer film reflector that includes a first uniform period multilayer film, an adjustment layer, and a second uniform period multilayer film in this order from a substrate side. A combination of the following (a) to (c) is set to each region or each position within a reflection surface. (a) Reflection characteristics of the single first uniform period multilayer film, (b) reflection characteristics of the single second uniform period multilayer film, and (c) a film thickness of the adjustment layer.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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