An object of the present invention is to provide a gas treatment device capable of efficiently decomposing components that are difficult to decompose by ozone (O 3 ). The gas processing apparatus is made of a cylindrical housing, an intake port for introducing a gas to be treated containing oxygen and moisture into the housing, and is accommodated in the housing, filled with a gas for discharge, in a first direction. An excimer lamp including a tube to be stretched, an exhaust port for guiding the gas to be treated with ultraviolet light emitted from the excimer lamp to the outside of the housing, and when viewed from the first direction, surround the tube or sandwich the tube It is provided with a wind-shielded member arranged. The windshield member is disposed at least between the end portion of the tube body related to the first direction, which is closer to the intake port, and the center portion of the tube body in the first direction.오존(O3)에 의하여 분해하기 어려운 성분도 효율적으로 분해하는 것이 가능한 기체 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.기체 처리 장치는, 통 형상의 하우징과, 산소 및 수분을 포함하는 피처리 기체를 하우징의 내측에 도입하는 흡기구와, 하우징의 내측에 수용되고, 방전용 가스가 충전되어 이루어지며, 제1 방향으로 연신하는 관체를 포함하는 엑시머 램프와, 엑시머 램프로부터 출사된 자외선이 조사된 피처리 기체를 하우징의 외측으로 도출하는 배기구와, 제1 방향에서 보았을 때에, 관체를 둘러싸도록, 또는 관체를 사이에 두도록 배치된 차풍 부재를 구비한다. 차풍 부재는, 적어도, 관체의 상기 제1 방향에 관련된 단부 중 흡기구에 가까운 측의 단부와, 관체의 제1 방향의 중앙부 사이의 위치에 배치되어 있다.
