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照明装置和计测装置
专利权人:
奥林巴斯株式会社
发明人:
渡边大智
申请号:
CN201580080107.4
公开号:
CN107613842B
申请日:
2015.29.05
申请国别(地区):
CN
年份:
2019
代理人:
摘要:
照明装置具有:光源部,其包含射出具有相干性的光的半导体激光器(101);偏振光分离部,其包含金红石(111)、1/2相位差膜(112)和金红石(113),该偏振光分离部根据所入射的光的偏振方向对光路进行分离;以及投影偏振光切换机构,其包含1/2波片单元(105)、1/4波片单元(107)以及偏振光膜(114),该投影偏振光切换机构使从偏振光分离部射出并投影的光在透过了由偏振光分离部分离出的各个光路后的光的偏振光成分与透过了任意一个光路后的光的偏振光成分之间进行切换。由此,能够提供将观察用照明和计测用照明的光源以及光学系统共用化的小型的照明装置以及使用了该照明装置的计测装置。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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