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激励和拾振合一的电热激励-压阻拾振谐振梁压力传感器
- 专利权人:
- 北京航空航天大学
- 发明人:
- 樊尚春,李庆丰,邢维巍,孙苗苗,汤章阳
- 申请号：
- CN201110307414.5
- 公开号：
- CN102507050B
- 申请日:
- 2011.10.11
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 成金玉
- 摘要：
- 激励和拾振合一的电热激励-压阻拾振谐振梁压力传感器，包括感压膜片、双端固支谐振梁、激励-拾振电阻和锁相闭环电路。被测压力直接作用于感压膜片的下表面并使其发生变形。感压膜片的变形引起固定于感压膜片上表面的双端固支谐振梁内应力发生变化，进而改变其一阶固有频率。跟踪谐振梁一阶固有频率的变化即可实现对被测压力的测量。本发明将激励电阻和拾振电阻合并为一个“激励-拾振”电阻，不仅简化了传感器结构，而且拾振信号频率为激励信号频率的三倍，拾振信号和激励信号在频域中相互分离，很好的解决了上述同频电容耦合干扰问题；同时大幅降低了电阻电热效应引起的谐振梁固有频率漂移。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
