微针、微针阵列及其制造方法
- 专利权人:
- U型针控股有限责任公司
- 发明人:
- J·W·贝伦肖特,J·M·维辛特,N·R·塔斯,M·J·德博伊尔
- 申请号：
- CN200980128625.3
- 公开号：
- CN102123759B
- 申请日:
- 2009.06.24
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了微针，该微针包含：具有至少三个壁的单晶材料轴，所述三个壁由单晶材料的晶面形成；连接到所述轴的端部并且包含至少三个壁的尖端，所述三个壁由材料晶面形成。所述材料优选是硅。所述尖端的壁中的两个由与所述轴的两个壁相同的晶面形成。这两个壁由<；111>；晶面形成。优选地，所述尖端的三个壁由<；111>；晶面形成。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
