Ein Sterilisationsverfahren kann umfassen: Eintragen einer Vakuumverpackung, die ein Zielobjekt umschließt und versiegelt, in einen Vakuumbehälter, Evakuieren des Vakuumbehälters und der Vakuumverpackung, Einspritzen eines Sterilisationsmittels in die Vakuumverpackung, die im Vakuumbehälter angeordnet ist und in einem Vakuumzustand gehalten wird, und Lüften des Vakuumbehälters, damit dieser atmosphärischen Druck annehmen kann.A sterilization method may include: introducing a vacuum package enclosing and sealing a target into a vacuum container, evacuating the vacuum container and the vacuum package, injecting a sterilant into the vacuum package disposed in the vacuum container and kept in a vacuum state, and venting the vacuum container so that it can take on atmospheric pressure.