An evaporation apparatus (100) for evaporating hydrogen peroxide is provided. The device is a housing body (120) having at least two flow paths (110a-d) disposed therein, the flow paths (110a-d) being connected to each other and having an inlet (130). ) And the outlet (132) at least disposed in the housing body (120) for heating the housing body (120) and the flow paths (110a-d). One heating element (150). The first flow path (110a) connected to the fluid inlet (130) is disposed relative to the at least one heating element (150) such that its inner wall is heated to a first temperature； And the second flow path (110d) connected to the fluid outlet (132) has at least one heating element (150) such that its inner wall is heated to a second temperature higher than the first temperature. ). [Selection] Figure 3a過酸化水素を蒸発させるための蒸発装置（１００）が提供される。装置は、ハウジング本体（１２０）であって、その中に配置されている少なくとも２つの流路（１１０ａ～ｄ）を有し、流路（１１０ａ～ｄ）は、互いに接続されて、入口（１３０）と出口（１３２）との間に共通流体ラインを形成し、ハウジング本体（１２０）と前記流路（１１０ａ～ｄ）を加熱するための、前記ハウジング本体（１２０）内に配置されている少なくとも１つの加熱要素（１５０）とを含む。流体入口（１３０）に接続されている第１の流路（１１０ａ）は、その内壁が第１の温度に加熱されるように、少なくとも１つの加熱要素（１５０）に対して配置されており、及び流体出口（１３２）に接続されている第２の流路（１１０ｄ）は、その内壁が、第１の温度よりも高い第２の温度に加熱されるように、少なくとも１つの加熱要素（１５０）に対して配置されている。【選択図】図３ａ
