包括分层微探针的传感系统
- 专利权人:
- 曲莱博医疗有限公司
- 发明人:
- S·莱夫勒,I·塔米尔,D·施赖伯,H·马萨萨
- 申请号：
- CN202180015355.6
- 公开号：
- CN115552231A
- 申请日:
- 2021.01.15
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2022
- 代理人:
- 摘要：
- 一种传感系统，包括微探针，该微探针包括分层结构和包封部，其中：分层结构包括：传感单元，包括传感器，该传感器包括工作电极，其中，传感单元当沿着分层方向观察时具有第一周界、包含具有第一韧性的第一材料并且包括第一侧和第二侧；可变形层，配置为在应力下变形并且定位在传感单元的第一侧上；可延展层，与传感单元相对地定位在可变形层上并且当沿着分层方向观察时具有第二周界，第一周界在第二周界内，可延展层包含具有大于第一韧性的第二韧性的第二材料；传感器接口层，定位在传感单元的第二侧上；并且包封部部分地包封分层结构并且将分层结构与周围环境机械隔离。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
