DONG-EUI UNIVERSITY INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION;동의대학교 산학협력단
发明人:
DOOHO CHOI,최두호
申请号：
KR1020180119937
公开号：
KR1020200040092A
申请日:
2018.10.08
申请国别(地区):
KR
年份:
2020
代理人:
摘要：
The present invention relates to a microstructure control method of a molybdenum thin film surface. Molybdenum thin film RMS surface roughness can be controlled to be rough or controlled to be flat by controlling a bias voltage and a deposition pressure during a manufacturing process of a molybdenum thin film using a sputtering deposition process. A molybdenum thin film with a rough surface can be attached to an inner and an outer wall of a smart greenhouse to be applied to a sunlight control system, and temperature and photosynthesis of a crop in the smart greenhouse can be controlled by light quantity control by wavelength of sunlight entering the smart greenhouse. A molybdenum thin film with a flat surface can be useful as a rear electrode for a solar cell or a low-resistance electrode for an electronic element by reduced specific resistivity by reducing a scattering level of electrons on the surface of the thin film.COPYRIGHT KIPO 2020본 발명은 몰리브덴 박막 표면의 미세구조 제어방법에 관한 것으로, 스퍼터링 증착공정을 통하여 몰리브덴 박막의 제조 공정 중 바이어스 전압 및 증착 압력의 제어를 통해 몰리브덴 박막 RMS 표면 거칠기를 거칠게 제어하거나 평탄하게 제어할 수 있으며, 표면이 거친 몰리브덴 박막의 경우 스마트 온실의 내외벽에 부착하여 태양광 제어 시스템에 적용할 수 있으며 또한 스마트 온실 내로 입사하는 태양광의 파장대별 광량 제어를 통해 스마트 온실 내 작물의 광합성 및 온도 제어가 가능하고, 표면이 평탄한 몰리브덴 박막의 경우 전자가 박막 표면에서 산란도가 저감하여 비저항을 감소시키는 효과로 인해 태양전지용 배면전극이나 전자소자용 저저항 전극으로 유용할 수 있다.
