The present invention relates to a steam washing apparatus by ultrasonic vibration. The steam washing apparatus according to an embodiment of the present invention comprises: a power supply unit (P) including a power cable or a battery and an operation switch an inlet (10) through which a washing water (2) such as general water or functional water is injected an ozone water transform module (20) transforming the washing water (2) injected through the inlet (10) into the ozone water to additionally generate a sterilization function an ultrasonic vibrator (30) transforming the washing water (2), which is transformed into the ozone water by the ozone water transform module (20), into a minute steam (3) by the ultrasonic vibration a blower (40) spraying the minute steam (3) generated by the ultrasonic vibrator (30) to a user&primes face via a steam spraying unit (4) and a temperature control module (50) controlling a temperature of the washing water (2). Therefore, the ozone with excellent sterilization is dissolved in the washing water, and the washing water in which the ozone is dissolved is sprayed to the user&primes face, thereby increasing functionality such as treatment of skin ailment, beauty benefits, etc.COPYRIGHT KIPO 2017본 발명에 따른 초음파 진동에 의한 미세수증기 세안장치는 전원케이블 또는 배터리로 구성되며, 동작스위치를 더 포함하여 구성되는 전원부(P) 일반적인 생수 또는 기능수와 같은 세안수(2)를 주입하는 주입구(10) 상기 주입구(10)를 통하여 주입된 세안수(2)를 오존수로 변환시켜 살균작용을 부가적으로 부여하는 오존수 변환모듈(20) 상기 오존수 변환모듈(20)에 의해 오존수로 변환된 세안수(2)를 초음파 진동시켜 미세 수증기(3)로 변환시키는 초음파진동기(30) 상기 초음파진동기(30)에 의해 생성된 미세 수증기(3)를 수증기 분사부(4)를 거쳐서 사용자의 안면에 분사시키는 송풍기(40) 로 구성되며, 상기 세안수(2)의 온도조절을 가능하게 하는 온도조절모듈(50)을 더 포함하는 것을 특징으로 하고, 세안수에 살균력이 뛰어난 오존을 용해시키고, 오존이 용해된 세안수를 사용자의 안면에 분사함으로써 피부 질환의 치료 및 미용효과 등의 기능성을 증대시키는 효과를 제공한다.