X射线用金属网格、X射线摄像装置及X射线用金属网格的制造方法
- 专利权人:
- 浜松光子学株式会社
- 发明人:
- 小谷政弘,川上博己
- 申请号：
- CN201880011606.1
- 公开号：
- CN110291426A
- 申请日:
- 2018.27.02
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 金属网格包括:具有弯曲的主面的部件、在该部件的主面上形成的阳极氧化覆膜、和包含在阳极氧化覆膜上周期性地形成的凹凸形状的栅格结构。此外,金属网格的制造方法包括:在部件的主面上形成阀金属膜的工序;在主面弯曲的状态下进行阀金属膜的阳极氧化处理而形成阳极氧化覆膜的工序;和通过在阳极氧化覆膜的表面上形成具有周期性的开口的蚀刻掩模并经开口对阳极氧化覆膜进行蚀刻,在阳极氧化覆膜上形成包含周期性的凹凸形状的栅格结构的工序。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
